反演拟合
反演拟合是一项关键的生产过程,它通过已知的光谱数据和标准膜系的膜系结构,反演出每一层的膜厚。这一过程通过比较反演出的膜系膜层厚度和标准膜系的膜层厚度,可以确定需要调整的膜层厚度。进一步的反演拟合可以逐步调整实际镀膜的膜厚至标准膜厚,从而达到预期的光谱、颜色和物理特性。
值得强调的是,反演拟合的速度与准确性直接关系到镀膜线的运行效率和产品质量,因此必须对其给予充分重视并持续优化。
调片开始
标准膜系
设定软件参数
设定反演策略
标准光谱
达到要求?
调片结束
参数存档
当前光谱数据
设定反演目标
镀膜参数
镀膜
当前测试样片
测试光谱
反演
测试物理特性
当前膜系
膜系
- 独创的实时对比标准光谱、测试光谱和模拟光谱;
- 膜系数据依据每条生产线进行初始化;
- 膜系材料可以根据不同靶材等进行初始调整;
- 快速调片
灵活的优化目标
- 实现方便的数据导入、导出、转化、管理等;
- 操作简单;
- 支持多种在线和离线光谱测试仪器;
反演拟合
切合实际的反演策略
- 根据工艺参数给出调整方向和数值;
- 误差分析;
与膜系开发模块衔接
- 膜系结构相同,以便相互转换;
- 结合实际情况;
- 多角度评估(干涉色);