镀膜线运行控制
均匀性调整和控制
均匀性指玻璃不同位置之间的差异。
不均匀可能导致整体光学性能（颜色、辐射率）、物理性能（耐磨性、温度冲击）、化学性能（耐酸碱性）等问题。
原因是一些薄膜层的设计与其他位置不同（厚度或成分）。
影响均匀性的因素有很多，包括设备本身的结构、磁铁、气体分配管、屏蔽、靶材基板距离等，还包括辅助气体设置。
均匀性可以通过如下途径调整:
- 对影响因素的建模得到影响因素模型
- 获取现有的均匀性数据。
- 确立调整因素，由模型推导出需要调整的变化量
- 应用新的(调整后)的参数，重新计算均匀性
- 不断重复，直到均匀性满足要求
在生产过程中，还需要通过实时监控每个玻璃片的光谱/电阻并调整以防止偏离正常水平来控制均匀性。