介绍
工艺大师是一个专门用于模拟和控制镀膜工艺的工具,它能够记录和调整工艺参数,并对整片玻璃的横向均匀性进行反演、监控和调整。
均匀性指的是玻璃上不同位置的性能差异,可能对整体光学性能(如颜色和辐射率)、物理性能(如耐摩擦和温度冲击)、化学性能(如耐酸碱性)等产生影响。这些差异通常是由于不同位置的一层或者多层膜层存在差异(如膜厚和膜层材料的成分比例)而引起的。
均匀性的影响因素多种多样,包括设备结构、磁钢、气体分布管道、遮挡板、靶基距等,以及辅助气体的设置。
我们通过对均匀性的可能影响因素进行建模,分开仓和实时两种方式对均匀性进行调整。在生产过程中,我们还实时读取每一片玻璃的测试光谱,以便进行均匀性的监控。