镀膜线模块总览
镀膜线模块用于定义物理设备拓扑及运行映射数据，供工艺执行与分析模块使用。
范围
本模块聚焦与工艺相关的生产数据对象，主要包括：
- 镀膜线结构与分段定义。
- 设计层到物理段位的运行映射。
- 靶位配置与靶位运行参数。
- 测量位置配置与运行记录。
为什么重要
镀膜线数据是连接设计模型与生产执行的桥梁。
如果这些数据对象不完整或不一致，下游模块将可能无法正常运行。
数据依赖流程
- 创建测量位置。
- 配置镀膜线结构。
- 配置靶位对象及材料/气体/电源资源。
- 建立设计层与段位之间的运行映射。
- 保存运行时靶位参数快照。
- 执行流程并落库运行记录。
推荐使用方式
- 先在镀膜线模块完成并验证所有数据库对象。
- 在工艺大师及相关运行页面复用这些对象。
- 保持命名规范稳定，便于历史追溯。