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版本:5.0 (最新)

鍍膜線模組總覽

鍍膜線模組用於定義實體設備拓撲與運轉映射資料,供工藝執行與分析模組使用。

範圍

本模組聚焦於與工藝相關的生產資料物件,主要包含:

  1. 鍍膜線結構與分段定義。
  2. 設計層到實體段位的運轉映射。
  3. 靶位配置與靶位運轉參數。
  4. 測量位置配置與運行記錄。

為什麼重要

鍍膜線資料是連接設計模型與生產執行的橋樑。

若這些資料物件不完整或不一致,下游模組可能無法正常運作。

資料依賴流程

  1. 建立測量位置。
  2. 配置鍍膜線結構。
  3. 配置靶位物件與材料/氣體/電源資源。
  4. 建立設計層與段位之間的運轉映射。
  5. 儲存運轉時靶位參數快照。
  6. 執行流程並落庫運行記錄。

建議使用方式

  1. 先在鍍膜線模組完成並驗證所有資料庫物件。
  2. 在 Process Master 與相關運轉頁面重用這些物件。
  3. 保持命名規範穩定,便於歷史追溯。

相關頁面

  1. 鍍膜線快速上手
  2. 測量配置
  3. 鍍膜線運轉配置