工艺大师 — 模块介绍
工艺大师 是 OSC 系统的核心生产运营模块,面向镀膜工艺工程师,提供从参数配置、实时监控到工艺优化的全链路分析与决策支持。
主要功能
| 功能 | 描述 |
|---|---|
| 🌐 运转面板 | 可视化镀膜线实时状态,展示玻璃走速、靶位分布、参数配置、实时参数、开关状态等 |
| 📈 光谱分析 | 批量导入或从数据库加载测试光谱,与标准光谱对比评价 |
| 🔬 膜厚反演 | 根据测试光谱自动拟合推算各层膜厚(光谱 → 膜厚) |
| 💡 光谱计算 | 根据给定膜厚和膜系正向计算光谱(膜厚 → 光谱) |
| 🎯 参数调整 | 通过规划求解引擎,从目标膜厚反推工艺参数(如功率、走速)并实时验证 |
| 📋 运转记录 | 记录每次运转参数与反演/调整结果,支持历史追踪与学习 |
| ⚙️ 均匀性控制 | 检验膜厚横向均匀性,辅助辅参(辅气、磁钢等)优化 |
典型工作流
导入运转配置和运转参数
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批量读取测试光谱
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反演出各层膜厚
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评价膜厚均匀性 / 与目标对比
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通过参数调整面板计算新参数
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应用新参数 → 记录本次调整
注意事项
- 工艺大师需要首先完成模块配置(镀膜线信息、材料库、标准膜系等),才能正确加载和分析数据。
- 光谱反演依赖于正确配置的环境参数(入射介质、基板、材料)和标准膜系;配置错误会导致拟合失败。
- 参数调整功能与后端求解器(gRPC generalSolve)通信,请确保后端服务正常运行。