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均匀性控制 (Uniformity Control)

在大型真空连续镀膜线上，横向均匀性（Cross-belt Uniformity）是产品质量最关键的指标之一。工艺大师通过数字化手段，通过“多位置数据闭环”实现对全幅面膜厚的精准控制。

控制核心流程​

均匀性控制并非一个单一功能，它是以下三个环节的协同：

  1. 精准测量与对齐：

    • 系统支持在产线宽度方向上定义多个 测试位置 (Measure Positions)。
    • 每一个位置的光谱数据都独立载入，并与物理空间坐标精准映射。

  2. 多点反演 (Multi-position Reverse)：

    • 系统为每一个测量点独立执行 膜厚反演。
    • 最终生成一张全线膜厚分布图，通过 膜厚展示组件 识别出局部位置的偏差（例如：左侧偏薄，右侧偏厚）。

  3. 差分调整 (Differential Adjust)：

    • 利用 参数调整面板 中的“规划求解”。
    • 除了全局走速，还可独立调整 辅助气 (Assist Gas) 或 磁钢 (Magnet) 等具有局部调节功能的硬件，实现对特定位置厚度的精准“补色”。

适用场景​

  • 首件调试：新产品上线时，快速拉平全线各点的沉积速率。
  • 在线漂移修正：生产过程中因靶材消耗导致的均匀性恶化，通过软件建议值实时修正。

学习建议​

要掌握均匀性控制，建议按照以下顺序查阅：

典型工作流​

导入测量光谱
反演出各位置膜厚（横向分布曲线）
    ↓
与目标膜厚 / 标准值对比，评估均匀性
    ↓
使用参数求解功能计算建议的辅参调整量
    ↓
应用新参数，进行下一轮验证

注意事项​

  • 均匀性控制依赖准确的速率系数横向分布数据，请确保速率系数已通过近期反演更新。
  • 辅参的调整范围通常有硬件约束（如气体流量上下限），超出范围的建议值须人工审核后谨慎执行。
  • 本模块与参数调整面板（30_adjust）协同使用效果最佳。