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膜厚对比显示

膜厚对比显示组件用于并排比较两套膜厚数据,直观展示"实际 vs 目标"或"调整前 vs 调整后"的差异,是评价膜厚合格性的核心视图组件。

介绍

对比显示组件同时展示两条(或多条)膜厚分布曲线:

  • 主曲线:如反演膜厚(当前实际状态)
  • 对比曲线:如标准膜厚(设计目标)或预测膜厚(调整后预期)

两者的差异可以计算并叠加显示:

  • 绝对误差:各位置实际值与目标值的差(nm)
  • 相对误差:各位置差值/目标值(%)

横向位置的交集/并集模式可在工具栏中切换。

操作方法

  1. 进入任意使用膜厚对比视图的面板(均匀性控制、参数调整面板等)。
  2. 在显示配置区,选择主容器和对比容器。
  3. 切换 差值显示 开关,将差值曲线叠加在主曲线下方。
  4. 通过工具栏的 交集/并集 按钮切换显示位置范围:
    • 交集:只显示两组容器都有数据的位置
    • 并集:显示所有位置,无数据处留空

注意事项

  • 若两组数据的测试位置完全不重叠,界面将提示"无可对比数据"。
  • 横坐标的物理单位(毫米/位置编号)需在镀膜线配置中正确设置,否则对比图比例可能失真。