膜厚展示组

膜厚展示组是包含了一系列膜厚展示单元的组合。

膜厚展示单元

一个膜厚展示单元可以展示一个或者两个膜厚容器的膜厚数据。

在设定膜厚展示单元时，考虑不同膜厚来源或者用途进行分类。例如，可以将两次反演结果的膜厚容器用于对比。再例如可以将反演拟合的膜厚容器单独展示，用于和标准膜厚对比来决定每个位置需要的调整数值。

配置膜厚展示组

用户可以通过依次点击工艺大师->右边弹出菜单->膜厚->膜厚展示，弹出如下的膜厚展示配置页面。

用户点击右上角的添加按钮，就可以添加一个膜厚展示单元。

用户点击左上角的清空按钮，可以删除所有的膜厚展示单元。

用户点击每个膜厚展示单元最左侧的删除按钮，就可以将其删除。

• 标题:

用户可以给予此膜厚展示单元一个有意义的名称，以便选择和使用时能够清晰区分。

• 主要、对比:

选择膜厚容器来决定膜厚数据的来源。

注意: 此选择对话框支持取消选择，即在选中的状态下点击该选项，即可取消选择。

• 对比处理模式:测量位置、对比处理模式:膜层序号:

当主要和对比具有不同的测量位置或者膜层序号时，用户可以选择如何处理。

• 差值可视化:

可以分别对厚度差值和厚度差值比例进行可视化。

用户可以设定厚度差值和厚度差值比例的可视化阈值和对应的颜色展示。

特殊设置: 指定膜层的可视化设置。

通用设置: 通用的可视化设置，即除去指定膜层都使用的可视化设置。