运行面板总览 (Running Panel Overview)
“运行面板”是工艺大师模块的操作中枢。它整合了实时监控、参数调整和分析反馈,使工艺工程师能够在一个界面内完成从“发现偏差”到“修正参数”的全流程闭环。
界面布局
面板采用多窗体联动布局,核心组件包括:
1. 靶位仪表阵列 (Target Dashboard)
- 以图形化图标展示镀膜线上的每一个物理靶位。
- 实时显示:各靶位的功率(P)、流量(F)和运行状态。
- 层关联标识:通过颜色或标签标出该靶位负责生产膜系中的哪一层。
2. 核心分析区 (Analysis Area)
- 光谱视图:实时对比测量谱、标准谱与计算谱,直观显示光学性能偏差。
- 膜厚分布图:对比标准厚度、反演(实测)厚度和由于参数变动引起的预测厚度。