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运行面板总览 (Running Panel Overview)

“运行面板”是工艺大师模块的操作中枢。它整合了实时监控、参数调整和分析反馈,使工艺工程师能够在一个界面内完成从“发现偏差”到“修正参数”的全流程闭环。

界面布局

面板采用多窗体联动布局,核心组件包括:

1. 靶位仪表阵列 (Target Dashboard)

  • 以图形化图标展示镀膜线上的每一个物理靶位。
  • 实时显示:各靶位的功率(P)、流量(F)和运行状态。
  • 层关联标识:通过颜色或标签标出该靶位负责生产膜系中的哪一层。

2. 核心分析区 (Analysis Area)

  • 光谱视图:实时对比测量谱、标准谱与计算谱,直观显示光学性能偏差。
  • 膜厚分布图:对比标准厚度、反演(实测)厚度和由于参数变动引起的预测厚度。

3. 操作控制台

  • 配置切换:快速切换“运转配置”和“模块配置”。
  • 运行记录:一键保存当前全线状态。

典型操作流程

第一步:环境初始化

  1. 在右侧菜单载入 运转配置,确定当前生产哪个产品。
  2. 加载 模块配置,恢复个人习惯的图表和路径设置。

第二步:数据导入与反演

  1. 通过 导入光谱 组件加载最新的测量数据。
  2. 触发 膜厚反演,利用光谱数据计算出全线各点位的实际产出厚度。

第三步:参数评估与调优

  1. 查看 膜厚分布图,若实测厚度相对于标准厚度存在偏差(如 Layer 2 偏薄 5%):
  2. 打开 参数调整面板
  3. 修改 2 号层的相关靶位功率或整线速度。
  4. 观察 预测曲线 是否回到标准线上。
  5. (可选)使用 规划求解 自动计算推荐参数。

第四步:反馈应用

  1. 确认调整后的参数无误。
  2. 点击 应用参数,将新数值同步到当前生产环境。
  3. 点击 保存运行记录,对本次调机操作进行存档。

注意事项

  • 数据刷新:主面板的所有计算都是基于内存中的“当前状态”。如果您修改了靶位配置或膜系设计,请记得重新激活运转配置以完成同步。
  • 联动性:在该面板关闭子窗口(如光谱图)可通过配置菜单重新唤起。
  • 安全锁:执行“应用参数”前请务必确认当前机器处于可控状态,大规模的参数突变可能导致溅射不稳定。 寿命上限;请定期更新寿命数据避免误判。
  • 运行时间统计从"最后一次点击开启"时刻计算,若因断网等原因中断,需人工核对。