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参数调整与规划求解 (Thickness Adjust & Solver)

“参数调整”面板是工艺大师最强大的功能区。它允许用户手动模拟参数变化对膜厚的影响（正演），或设定目标厚度由系统自动推算工艺参数（反演/规划求解）。

核心概念：拟合模型 (Fit Model)​

系统通过“表达式”将物理参数与计算结果联系起来。

  • 表达式示例：Thickness = k * Power / Speed
  • 变量 (Variable)：表达式中的符号（如 k, Power, Speed）。
  • 关联 (Relation)：将符号映射到 UI 上的实时数值。例如，将 Power 映射到“3号靶位的当前功率”。

操作方法​

1. 手动调整与即时预测​

  • 在调整面板修改 走速 或 靶位功率/流量。
  • 系统根据内置表达式实时更新 预测膜厚 曲线。
  • 调整列：
    • 调整前：当前线上的实时数值。
    • 调整后：您在 UI 上输入的模拟数值。

2. 规划求解（自动调参）​

当膜厚不达标时，可使用自动求解功能：

  1. 设定目标：在层膜厚或靶位膜厚列输入期望的 目标值。
  2. 选择变量：勾选允许系统自动修改的参数（如勾选“功率”旁的复选框，即表示该参数可变）。
  3. 设置约束：系统会自动读取靶位配置中的功率上下限，确保求解结果安全可靠。
  4. 执行求解：点击工具栏的 优化/求解。
  5. 结果回写：求解成功后，推荐数值将填充在“调整后”一栏。点击 应用参数 可将结果写回主面板运行参数。

详细配置步骤​

配置拟合关系​

  1. 点击面板上的 配置关系 按钮。
  2. 选择模型：从拟合模型库中选择一个数学公式。
  3. 分配变量：
    • 识别公式中的所有符号。
    • 为每个符号指定 来源（如：来源 = 全局变量 → 走速；来源 = 靶位参数 → 功率）。
  4. 指定函数值：确定该公式计算的结果是哪一层的厚度或哪个位置的速率。

注意事项​

  • 雅可比矩阵收敛：如果勾选的可变参数过多而目标设定不合理，求解器（L-BFGS-B）可能无法收敛。建议每次只优化 1-3 个核心参数。
  • 初始值依赖：非线性求解对初始值敏感。请确保“调整前”的数值是真实且合理的。
  • 公式准确性：所有的自动推算都基于拟合公式。如果公式本身未考虑非线性衰减，则在大范围调整时误差会增大。
  • 推荐先在单层或单靶位做小范围试算，确认趋势正确后再执行全局求解和应用。
  • 求解后应结合光谱计算/实测结果复核，避免仅凭单次数值直接大幅调参。