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Version: 5.0 (最新)

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#--- sidebar_position: 1 id: adjust title: "参数调整与求解"​

参数调整与规划求解 (Thickness Adjust & Solver)

“参数调整”面板是工艺大师最强大的功能区。它允许用户手动模拟参数变化对膜厚的影响（正演），或设定目标厚度由系统自动推算工艺参数（反演/规划求解）。

核心概念：拟合模型 (Fit Model)​

系统通过“表达式”将物理参数与计算结果联系起来。

  • 表达式示例：Thickness = k * Power / Speed
  • 变量 (Variable)：表达式中的符号（如 k, Power, Speed）。
  • 关联 (Relation)：将符号映射到 UI 上的实时数值。例如，将 Power 映射到“3号靶位的当前功率”。

操作方法​

1. 手动调整与即时预测​

  • 在调整面板修改 走速 或 靶位功率/流量。
  • 系统根据内置表达式实时更新 预测膜厚 曲线。
  • 调整列：
    • 调整前：当前线上的实时数值。
    • 调整后：您在 UI 上输入的模拟数值。

2. 规划求解（自动调参）​

当膜厚不达标时，可使用自动求解功能：

  1. 设定目标：在层膜厚或靶位膜厚列输入期望的 目标值。
  2. 选择变量：勾选允许系统自动修改的参数（如勾选“功率”旁的复选框，即表示该参数可变）。
  3. 设置约束：系统会自动读取靶位配置中的功率上下限，确保求解结果安全可靠。
  4. 执行求解：点击工具栏的 优化/求解。
  5. 结果回写：求解成功后，推荐数值将填充在“调整后”一栏。点击 应用参数 可将结果写回主面板运行参数。

详细配置步骤​

配置拟合关系​

  1. 点击面板上的 配置关系 按钮。
  2. 选择模型：从拟合模型库中选择一个数学公式。
  3. 分配变量：
    • 识别公式中的所有符号。
    • 为每个符号指定 来源（如：来源 = 全局变量 → 走速；来源 = 靶位参数 → 功率）。
  4. 指定函数值：确定该公式计算的结果是哪一层的厚度或哪个位置的速率。

注意事项​

  • 雅可比矩阵收敛：如果勾选的可变参数过多而目标设定不合理，求解器（L-BFGS-B）可能无法收敛。建议每次只优化 1-3 个核心参数。
  • 初始值依赖：非线性求解对初始值敏感。请确保“调整前”的数值是真实且合理的。
  • 公式准确性：所有的自动推算都基于拟合公式。如果公式本身未考虑非线性衰减，则在大范围调整时误差会增大。 从云端、本地配方记录中加载您的工艺，面板上将列出当前的各个层（Layer）和靶位（Target）参数表。 您可以对需要固定不变的参数关闭“优化”开关；对需要系统帮您算出的参数（如：某层的溅射功率、或全局的玻璃走速）勾选进入待优化队列。

2. 勾选膜厚目标（Target Thickness）​

在每层的功能列表中，找到并勾选**膜厚（Thickness）**旁边的【参与优化】选项，并填入您期待的全新膜厚目标值。

提示： 针对膜厚计算，系统会自动匹配并构建公式 膜厚 = 速率系数 / 玻璃走速，无需您手动书写方程式。您仅需指定关联的对应物理参数被允许自由浮动。

3. 一键优化求解（General Solve）​

在设定好所有目标约束与允许变动的变量范围后，点击工具栏中的**【优化求解】**按钮。

  • 如果表达式与变量符合物理定则，系统状态栏会提示正在求解。
  • 系统在后台将智能鉴别参与计算的参数规模（自动分配 BRENT 或 L-BFGS-B 高级策略），不需您费心挑选计算引擎。
  • 稍作等待后，界面中的参数表格将会自动刷新。允许优化的功率/走速参数将被服务端计算出的最优参数代替。

4. （可选）预期试算与效果审阅​

即便尚未进入真正的优化反卷，您也可直接在表单中修调（例如：直接手动提高某项功率或放缓走速）。系统能够即时响应这种改动而触发内置的正向求解链路，帮助评估修改后可能会实际得到的“新膜厚”数字。这能够为人工干预提供极大便利。

5. 数据回写及应用​

当确认这批计算结果有效后，通过点击工具栏的**【应用参数】**，新出炉的推算参数将被同步覆盖至当前主流程中，您可以此为基础立刻启动下一轮试镀。