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膜厚数据容器 (Design Thickness Container)

“膜厚数据容器”是工艺大师内部用于存储、组织和对齐多组厚度数据的核心组件。它能够自动关联膜系设计与实测反演结果,为对比分析提供基础。

介绍

一个完整的膜厚容器组(Main Controller)由三个逻辑存储区组成,分别对应数据的不同来源:

数据来源说明
标准膜厚 (Standard)来自 StandardDesignController。即产品设计所要求的名义厚度。
反演膜厚 (Reverse)来自 ReverseController 的计算结果。通过测量光谱拟合出的实际生产厚度。
预测膜厚 (Prediction)来自 AdjustMainController。由当前工艺参数(走速、功率等)推演出的理论厚度。

容器按 测试位置 (Measure Position) 对齐。每一层膜在每个位置都有上述三个维度的数值。

操作方法

  1. 选择显示层:在容器工具栏切换当前需要查看的膜层(如 Layer 4-Nb2O5)。
  2. 数据同步
    • 执行反演后,结果会自动填入“反演”区。
    • 在调整面板修改参数后,点击“预测”会导致“预测”区数据更新。
  3. 多位置查看:容器支持横向滑动查看所有测量点。
  4. 虚层合并:如果配置了“虚拟膜厚层”,容器会根据表达式实时计算并展示合并后的层厚度。

注意事项

  • 坐标对齐:预测厚度和反演厚度必须共用同一套位置坐标系(由运转配置定义),否则曲线无法重叠对比。
  • 清除数据:清空容器只会操作内存副本,不会影响数据库中的历史记录,除非执行了显式的“保存”操作。