膜厚数据容器 (Design Thickness Container)
“膜厚数据容器”是工艺大师内部用于存储、组织和对齐多组厚度数据的核心组件。它能够自动关联膜系设计与实测反演结果,为对比分析提供基础。
介绍
一个完整的膜厚容器组(Main Controller)由三个逻辑存储区组成,分别对应数据的不同来源:
| 数据来源 | 说明 |
|---|---|
| 标准膜厚 (Standard) | 来自 StandardDesignController。即产品设计所要求的名义厚度。 |
| 反演膜厚 (Reverse) | 来自 ReverseController 的计算结果。通过测量光谱拟合出的实际生产厚度。 |
| 预测膜厚 (Prediction) | 来自 AdjustMainController。由当前工艺参数(走速、功率等)推演出的理论厚度。 |
容器按 测试位置 (Measure Position) 对齐。每一层膜在每个位置都有上述三个维度的数值。
操作方法
- 选择显示层:在容器工具栏切换当前需要查看的膜层(如 Layer 4-Nb2O5)。
- 数据同步:
- 执行反演后,结果会自动填入“反演”区。
- 在调整面板修改参数后,点击“预测”会导致“预测”区数据更新。
- 多位置查看:容器支持横向滑动查看所有测量点。
- 虚层合并:如果配置了“虚拟膜厚层”,容器会根据表达式实时计算并展示合并后的层厚度。
注意事项
- 坐标对齐:预测厚度和反演厚度必须共用同一套位置坐标系(由运转配置定义),否则曲线无法重叠对比。
- 清除数据:清空容器只会操作内存副本,不会影响数据库中的历史记录,除非执行了显式的“保存”操作。