膜厚预测（参数 → 膜厚）

膜厚预测基于当前的工艺参数和速率系数模型，正向计算各横向位置的预期膜厚分布，用于在实际运行前评估参数配置是否满足均匀性要求。

介绍

膜厚预测不需要实际测量光谱，而是基于已知的速率系数和工艺参数直接计算：

预期膜厚(x) = 速率系数(x) / 玻璃走速

其中 x 是横向位置，速率系数 r(x) 是按横向坐标分布的曲线（来自反演标定数据）。

适用场景：

• 在实际更改参数前，预估更改后的膜厚分布
• 验证某套辅参配置是否能满足目标均匀性
• 与标准膜厚对比，快速判断是否需要进行参数调整

操作方法

1. 确认已有最新的速率系数数据（通过膜厚反演或历史记录导入）。
2. 在均匀性控制面板中，进入 膜厚预测 标签页。
3. 输入或调整当前工艺参数：
   • 玻璃走速（m/h）
   • 各靶位开关及功率分配
4. 点击 计算预测膜厚，系统将输出各横向位置的预期膜厚分布曲线。
5. 对比目标膜厚曲线，评估均匀性偏差。

注意事项

• 预测精度取决于速率系数的时效性：速率系数随靶材老化会发生漂移，建议定期重新标定。
• 若当前功率与速率系数标定时差异较大（超过 ±20%），预测结果误差可能较显著。
• 预测结果仅供参考，最终结果需以实际测量光谱的反演为准。