厚度預測

厚度預測使用量測資料、製程模型與感測器輸入來估算基板上的膜厚分佈，並可將結果提供給優化或校正流程使用。

輸入資料

• 量測站厚度或光譜資料
• 鍍線執行參數與配方設定
• 感測器即時訊號

輸出結果

• 各位置厚度預測值
• 與目標厚度的偏差分佈
• 可供後續優化使用的計算結果