參數求解

參數求解器從量測到的厚度或光譜資料中反推製程模型參數（例如速率係數與空間係數），結果可用於預測與優化流程。

主要用途

• 校正模型與實際量測之差異
• 提高後續厚度預測準確度
• 為優化計算提供可靠參數

使用建議

1. 先確認量測資料品質與完整性。
2. 分批求解並比較不同批次結果。
3. 更新參數後先小範圍驗證再正式套用。