参数求解

---

sidebar_position: 5 id: parameter-solver title: "参数求解"

参数求解

参数求解是均匀性控制的核心计算功能，给定目标膜厚分布后，系统通过规划求解算法自动推算出能达到该目标的工艺参数配置（辅参曲线）。

介绍

参数求解本质上是一个逆问题：

目标膜厚分布(x) → 最优辅参配置(x)

系统在后端使用非线性优化求解器（BRENT / L-BFGS-B），在辅参的可行范围内搜索最优解，使预测膜厚与目标膜厚之间的差异最小化。

典型应用场景：

• 改善某层膜的横向均匀性（使各位置膜厚趋向一致）
• 在靶材老化或其他工况变化后，重新标定辅参使均匀性恢复

操作方法

1. 确认速率系数已是最新状态（近期反演标定过）。
2. 在参数求解标签页中，设置：
   • 目标膜厚曲线：可输入各位置的目标值，或直接使用"全局平均值拉平"选项
   • 允许调整的辅参范围：设置每个辅参的上下限约束
   • 固定参数：勾选不参与优化的参数（如保持玻璃走速不变）
3. 点击 开始求解。
4. 查看求解结果：推荐辅参配置及预期达到的膜厚曲线对比图。
5. 确认满意后点击 应用参数 将新辅参写入主面板。

注意事项

• 若约束范围过于紧张（如辅参范围太小），求解器可能无法找到满足目标精度的解，此时系统会给出"最佳可行解"并提示偏差量。
• 求解结果仅是基于当前速率系数模型的理论最优，实际效果需验证。建议以小步伐逐步调整，每次调整后重新测量光谱进行反演验证。
• 涉及多靶位协同调整时，求解时间会随靶位数量增加而延长。