反演膜厚
介绍
此功能用于反演膜厚,即根据测量得到的光谱数据,反演出对应的膜层厚度。
设置
可以包含多个反演单元,每个单元可以根据需要设置不同的反演参数。
用户可以通过依次点击工艺大师
->右边弹出菜单
->膜厚
->反演
,弹出如下的反演配置页面。
添加反演单元
点击右上角的添加
按钮,就可以添加一个反演单元。如果需要复制一个反演单元,可以在添加之前在反演单元上点击复制
按钮。
具体参数的设置参照下面的设置反演参数。
设置反演参数
点击每个反演单元右侧的配置
按钮,就会弹出反演参数配置页面。
反演单元名称
用户可以给予此反演单元一个有意义的名称,以便选择和使用时能够清晰区分。
光谱容器
用户需要选择一个光谱容器,用于获取反演需要的光谱数据。
膜厚容器
用户可以选择一个或者多个膜厚容器,在反演结束后,反演单元会把反演得到的膜厚数据填充到这些容器。
测量位置
只有设定的测量位置才会反演。
通用设置和特殊设置
指的是不同测量位置的反演参数是否相同。如果相同,可以选择通用设置,如果不同,可以选择个性设置。
1) 波长、容差: 反演时,用于设定光谱目标所需的波长和容差。
2) 算法: 反演时,用于设定反演所需的算法,目前仅支持Filmstar算法。
3) 停止模式: 反演时,用于设定反演的停止模式,包括优化函数、优化次数和优化函数下降(指的是连续几次的优化函数下降值小于某个设定值)。
反演单元面板
用户可以点击主界面右侧操作栏的从上面开始的第五个按钮膜厚反演
,弹出如下的反演页面。
如果没有看到设置的反演单元,请到设置页面去检查反演单元的锁定和显示状态。
操作步骤
加载模块配置
Filmstar初始化
加载镀膜线运行配置
镀膜线运行配置设定了镀膜线和膜系。
导入光谱
请参照导入光谱页面将需要反演的光谱导入到上面设定的光谱容器中。
确认反演参数
反演
点击反演
按钮,即可开始反演。
下面是一个正在反演的界面。
如果设定的测量位置较多,反演时间会比较长,请耐心等待。
结果
查看反演结果
反演结果中记录了每个位置花费的时间和优化函数值。
查看反演膜厚
可以查看每个测量位置每个膜层的反演膜厚。
如果想利用反演膜厚进行后续的计算,可以通过设置对比模式的展示。就可以查看每层每个位置的膜厚和标准膜厚的差异、调整数值和调整百分比。