膜厚反演
概要
本機能では膜厚反演を実行します。測定スペクトルデータに基づいて、各膜層の厚みを推定します。
設定
システムには複数の反演ユニットを登録でき、ユニットごとに異なる反演パラメータを設定できます。
Process Master -> 右側ポップアップメニュー -> Thickness -> Inversion の順に操作して、反演設定を開きます。
反演ユニットの追加
右上の Add ボタンで新しい反演ユニットを追加します。既存ユニットを複製する場合は、追加前に対象ユニットの Copy をクリックします。
詳細な設定項目は、次の「反演パラメータ」を参照してください。
反演パラメータ
各ユニット右側の Configure ボタンをクリックすると、パラメータ設定を開けます。
- ユニット名 — ユニット識別用の名称を設定します。
- スペクトルコンテナ — 反演に使用するスペクトルの取得元コンテナを選択します。
- 膜厚コンテナ — 反演後の膜厚値を書き込むコンテナを 1 つ以上選択します。
- 測定位置 — 選択した位置のみ反演対象になります。
- 共通設定 / 位置別設定 — 全測定位置で同一設定を使うか、位置ごとに個別設定するかを選択します。
主なパラメータ：
- 波長と許容差：スペクトル目標の波長と許容差を設定します。
- アルゴリズム：反演アルゴリズムを選択します（現在は Filmstar アルゴリズムに対応）。
- 停止条件：反演終了条件を設定します（目的関数しきい値、最大反復回数、または連続微小改善）。
反演ユニットパネル
メイン画面右側のアクションツールバーで、上から 5 番目のボタンをクリックすると「膜厚反演」パネルを開けます。
設定済みユニットが表示されない場合は、各ユニットのロック状態と表示状態を確認してください。
ワークフロー
モジュール設定を読込
Filmstar を初期化
コーティングライン運転設定を読込
コーティングライン運転設定では、対象ラインおよび膜系を定義します。
スペクトルを読込
設定済みのスペクトルコンテナへスペクトルを読み込みます（「スペクトル読込」参照）。
反演パラメータを確認
反演を実行
Invert をクリックすると反演を開始します。パネルに進捗が表示されます。
測定位置の選択数が多い場合、処理時間が長くなることがあります。
結果
反演記録を確認
反演記録には、位置ごとの処理時間と目的関数値が含まれます。
反演膜厚を確認
各測定位置・各膜層の反演膜厚を確認します。
後続計算で反演膜厚を活用する場合は比較モードを有効化し、各位置の膜厚と標準膜厚との差分、調整量、割合を確認します。
