反演膜厚
介紹
此功能用於反演膜厚,根據測得的光譜資料推算各膜層的厚度。
設定
系統可包含多個反演單元,每個單元可設不同的參數。
導航至:工藝大師 -> 右側彈出選單 -> 膜厚 -> 反演 開啟反演設定。

新增反演單元
點選右上角的 新增 按鈕新增反演單元。若需複製現有單元,可在新增前點選該單元上的 複製。
詳見下方反演參數設定。
反演參數
點選每個單元右側的 設定 鈕可開啟參數設定。

- 單元名稱 — 指定單元名稱以便辨識。
- 光譜容器 — 選擇提供反演光譜的容器。
- 膜厚容器 — 選擇一個或多個容器,反演後結果會填入這些容器。
- 測量位置 — 僅會對已選位置執行反演。
- 通用/個別設定 — 選擇是否對各測點使用相同參數或分別設定。
參數細節:
- 波長與容差:設定光譜目標的波長與容差。
- 演算法:目前支援 Filmstar 演算法。
- 停止條件:設定反演停止條件(優化函數閾值、最大次數、或連續下降條件)。
反演單元面板
點選主介面右側操作欄從上往下第五個按鈕(膜厚反演)可開啟面板。

若看不到單元,請檢查反演單元的鎖定與顯示狀態。
操作流程
載入模組設定
Filmstar 初始化
載入鍍膜線執行設定
鍍膜線執行設定定義了鍍膜線與膜系。