Process Masteruniformity-control反演膜厚版本:Next本页总览反演膜厚介紹 此功能用於反演膜厚,根據測得的光譜資料推算各膜層的厚度。 設定 系統可包含多個反演單元,每個單元可設不同的參數。 導航至:工藝大師 -> 右側彈出選單 -> 膜厚 -> 反演 開啟反演設定。 新增反演單元 點選右上角的 新增 按鈕新增反演單元。若需複製現有單元,可在新增前點選該單元上的 複製。 詳見下方反演參數設定。 反演參數