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反演膜厚

介紹

此功能用於反演膜厚,根據測得的光譜資料推算各膜層的厚度。

設定

系統可包含多個反演單元,每個單元可設不同的參數。

導航至:工藝大師 -> 右側彈出選單 -> 膜厚 -> 反演 開啟反演設定。

reverse-group

新增反演單元

點選右上角的 新增 按鈕新增反演單元。若需複製現有單元,可在新增前點選該單元上的 複製

詳見下方反演參數設定。

反演參數

點選每個單元右側的 設定 鈕可開啟參數設定。

reverse-setting

  • 單元名稱 — 指定單元名稱以便辨識。
  • 光譜容器 — 選擇提供反演光譜的容器。
  • 膜厚容器 — 選擇一個或多個容器,反演後結果會填入這些容器。
  • 測量位置 — 僅會對已選位置執行反演。
  • 通用/個別設定 — 選擇是否對各測點使用相同參數或分別設定。

參數細節:

  1. 波長與容差:設定光譜目標的波長與容差。
  2. 演算法:目前支援 Filmstar 演算法。
  3. 停止條件:設定反演停止條件(優化函數閾值、最大次數、或連續下降條件)。

反演單元面板

點選主介面右側操作欄從上往下第五個按鈕(膜厚反演)可開啟面板。

reverse-panel

若看不到單元,請檢查反演單元的鎖定與顯示狀態。

操作流程

載入模組設定

Filmstar 初始化

載入鍍膜線執行設定

鍍膜線執行設定定義了鍍膜線與膜系。

匯入光譜

將需反演的光譜匯入設定的光譜容器(參見匯入光譜)。

spectrum

確認反演參數

執行反演

點選 反演 開始。面板會顯示進度:

reverse-panel

若選擇多個位置,反演時間可能較長,請耐心等待。

結果

檢視反演記錄

反演記錄含每個位置的耗時與優化函數值。

reverse-record

檢視反演膜厚

檢視每個測點每層的反演膜厚:

reverse-thickness

啟用比較模式以檢視每層每位置與標準膜厚的差異、調整值與百分比。

reverse-thickness-comparsion

上傳反演記錄