膜厚反演(光谱 → 膜厚)
膜厚反演是通过拟合优化算法,从原位测量的光谱数据中提取出各层膜的实际厚度,用于评价镀膜均匀性和偏差状态。
介绍
膜厚反演(也称"光谱反演")利用薄膜光学模型,对测量到的反射光谱或透射光谱进行非线性拟合,从而推算出最可能匹配该光谱的各层膜厚数值。
输入:各横向测试位置的测量光谱
输出:各位置的分层膜厚数值(横向分布曲线)
系统使用后端 gRPC 服务封装的拟合算法(Levenberg-Marquardt 等),并支持以标准膜系的设计膜厚为初始寻优点。
操作方法
- 确认已导入或读取了当前的测量光谱(在光谱容器中可看到各测试位置的 光谱)。
- 在工具栏点击 膜厚反演 按钮,选择参与反演的测试位置范围。
- 配置反演参数:
- 参与膜层(全部层 / 指定层)
- 膜厚初始值(默认使用标准膜系设计值)
- 拟合停止条件(迭代次数或残差阈值)
- 点击 开始反演,等待进度条完成。
- 反演完成后,膜厚结果将展示为各位置的横向分布曲线,可与标准值进行对比。
- 确认结果合理后,点击 保存速率系数 将当次反演的速率系数存档。
注意事项
- 反演质量依赖于光谱信噪比:若测量光谱质量较差(噪声大、基线漂移),反演结果误差会显著增大。
- 拟合初始值对收敛速度有显著影响,建议使用接近实际值的初始膜厚。
- 若某位置的拟合残差明显偏高(界面会标红),需人工检查该位置的光谱质量。
- 反演结果中出现负值或极端值时,请检查材料库的 n、k 数据是否正确。