Process Masteruniformity-control厚度優化版本:Next本页总览厚度優化厚度優化會計算沉積參數的調整建議,以達到目標厚度與均勻度要求,建議先在小範圍測試後再部署。 優化重點 目標厚度達成率 面內均勻度改善幅度 參數調整後的穩定性 實施流程 讀取最新預測結果與目標值。 產生參數調整建議。 小範圍試跑驗證後再全線套用。