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厚度優化

厚度優化會計算沉積參數的調整建議,以達到目標厚度與均勻度要求,建議先在小範圍測試後再部署。

優化重點

  • 目標厚度達成率
  • 面內均勻度改善幅度
  • 參數調整後的穩定性

實施流程

  1. 讀取最新預測結果與目標值。
  2. 產生參數調整建議。
  3. 小範圍試跑驗證後再全線套用。