厚度优化
sidebar_position: 8 id: thickness-optimization title: "膜厚优化"
膜厚优化
膜厚优化是在均匀性控制领域的更高级别功能，支持多目标、多约束条件下的综合参数优化，兼顾产品规格达标与工艺稳定性。
介绍
相较于基础的参数求解（单目标：均匀性），膜厚优化允许同时考虑多个目标：
- 使各测试位置的目标膜厚达标
- 在靶材寿命余量约束下最大化产出
- 同时满足多层膜均匀性要求（多靶位组联动）
操作方法
- 进入 均匀性控制 → 膜厚优化 页面。
- 配置优化目标：
- 选择参与优化的膜层
- 指定各层的目标膜厚范围（容差）
- 配置约束：
- 参数上下限（功率范围、气体范围）
- 靶材寿命余量限制
- 设置优化权重（若有多个目标，设置各目标的优先级权重）。
- 点击 开始优化，等待求解结果。
- 审阅结果后选择接受并点击 应用参数，或调整权重后重新运行。
注意事项
- 多目标优化通常需要更长的计算时间，请在非生产时段进行。
- 优化结果是帕累托最优方案之一，不同权重设置可能得到不同但同样"最优"的参数组合，需结合工程经验判断。
- 首次使用前，建议先通过单目标的参数求解验证速率系数模型的准确性，再启用多目标优化。