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折射率拟合

材料的折射率是膜系计算和反演拟合的最重要的基础数据,没有准确的基板折射率、膜层材料折射率,是无法进行调片的。

  • 采用光度法拟合材料的折射率,需要测试透过率、反射率、膜厚中的一种或者多种,在测试数据准确度一样的情况下,数据类型越多,拟合结果的可信度就越高;
  • 可以是基板或者膜层材料,一般拟合膜层材料折射率时,需要已知基板材料折射率(可以先拟合);
  • 多角度光度数据对折射率拟合结果的收敛有帮助。

Index Fitting