屈折率フィッティング
材料の屈折率（基板、コーティング材料）は、薄膜計算（開発、逆解析フィッティング）において最も重要なデータです。
- 光度法による材料の屈折率のフィッティングには、透過率、反射率、膜厚のいずれかまたは複数が必要です。テストデータの精度が同じ場合、データタイプが多いほどフィッティング結果の信頼性が高くなります。
- 基板またはコーティング材料の屈折率をフィッティングできます。一般に、コーティング材料の屈折率をフィッティングする前に、基板材料の屈折率を知る必要があります（事前にフィッティング可能）。
- 多角度光度データは、屈折率フィッティング手順の収束に役立つ場合があります。
基板材料
- 高透過ガラス；
- 着色吸収ガラス；
- 結晶、シリコンウェハー等のその他基板；
エリプソメーター不要;
モデルの有無に関係なくフィッティング可能
コーティング材料：
誘電体
- 弱吸収コーティング材料 Nb2O5, Ta2O5, TiO2, SiO2 等；
- 吸収材料: CrOx 等；
Office互換で簡単な操作、
複数のデータソースをサポート
コーティング材料：
金属、導電体、
半導体
- Si3N4, ITO, ZnSnOx 等；
- Cu, Ag, NiCr 等；
- その他の材料
フィッティング結果は正確で検証可能