折射率擬合

材料（基板或塗料）的折射率為薄膜計算（開發、反演擬合）最關鍵的資料。

• 使用光學方法擬合折射率時，可能需要一種或多種量測資料（透過率、反射率與膜層厚度）。在測試資料準確度相同的情況下，資料類型越多，擬合結果越可靠。
• 我們可以擬合基板或某種塗料的折射率；一般而言，需先知道或先擬合基板的折射率，才能進一步擬合塗料的折射率。
• 多角度光學量測資料有助於折射率擬合程序的收斂。

基板材料

• 超白玻璃；
• 吸收有色玻璃；
• 其它类型的基板材料如晶体、硅片；

无须椭偏仪，有无模型和相应系数均可拟合；

镀膜材料： 介质

• 弱吸收镀膜材料 Nb2O5,Ta2O5,TiO2,SiO2 等；
• 吸收材料:CrOx等；

方便操作，Office兼容操作， 支持多种数据来源

镀膜材料： 金属、导体、 半导体

• Si3N4,ITO,ZnSnOx等；
• Cu,Ag,NiCr等；
• 其它材料

拟合结果准确可验证