鍍膜線運行控制

均勻性調整與控制

均勻性（uniformity）指的是玻璃不同位置之間的差異。

均勻性問題可能造成光學性質（色度、發射率）、物理性質（耐磨、抗溫衝擊）及化學性質（耐酸鹼）等異常。

其成因可能為某一層或多層薄膜在不同位置的厚度或成分差異。

影響均勻性的因素眾多，包括設備結構、磁場配置、氣體分配管路、遮蔽、靶材與基板距離等，以及輔助氣體設定等。

均勻性透過位置模型與即時參數進行調整與模擬。

均勻性控制以生產中對每片玻璃之光譜/電阻實時監控為基礎，若發現偏離，則進行參數或製程調整。