コーティングライン運転制御

均一性の調整と制御

均一性とは、ガラスの位置ごとの差異を指します。

不均一は、光学特性（色、放射率）、物理特性（耐摩耗性、温度衝撃）、化学特性（耐酸アルカリ性）などの問題を引き起こす可能性があります。

主因は、一部膜層の設計（厚さまたは成分）が他位置と異なることです。

均一性へ影響する要因には、装置構造、磁石、ガス分配管、遮蔽、ターゲット-基板距離、補助ガス設定などがあります。

均一性は次の流れで調整できます：

• 影響因子をモデル化して影響モデルを構築
• 現在の均一性データを取得
• 調整因子を確立し、モデルから必要変化量を推定
• 調整後パラメータを適用して均一性を再計算
• 要件を満たすまで反復

生産中は、各ガラス片のスペクトル/抵抗をリアルタイム監視し、正常水準からの逸脱を抑える調整を継続する必要があります。