逆解析フィッティング

逆解析フィッティングは、調整の重要なステップです。逆解析フィッティングの速度と精度は、効率と製品品質を直接決定します。

薄膜スタックと既知のスペクトルに基づいて、さまざまな戦略を使用して方程式を解くことで、各層の厚さを逆解析します。

シミュレーションされた厚さと標準厚さを比較することで、調整された厚さを取得できます。

段階的な逆解析フィッティングを通じて、実際の薄膜厚さを標準厚さに調整し、目的のスペクトル、色、および物理的特性を得ることができます。

調整開始

標準システム

ソフトウェアパラメータ設定

リバース戦略設定

標準スペクトル

要件に達したか？

調整終了

パラメータ保存

現在のスペクトルデータ

リバースターゲット設定

コーティングパラメータ

コーティング

現在のテストサンプル

テストスペクトル

リバース

物理特性テスト

現在のシステム

システム

• 標準、テスト、シミュレーションのスペクトルをリアルタイムで独自に比較；
• システムデータは各生産ラインに応じて初期化されます；
• システム材料は、異なるターゲットなどに基づいて初期調整できます；
• 素早い調整

柔軟な最適化目標

• 便利なデータのインポート、エクスポート、変換、管理などを実現；
• 簡単な操作；
• 複数のオンラインおよびオフラインのスペクトロメータをサポート；

リバースフィッティング

実践的なリバース戦略

• プロセスパラメータに基づいた調整方向と値を提供します；
• 誤差分析；

開発モジュールとの連携

• 相互変換を容易にするための同一のシステム構造；
• 実際の状況との組み合わせ；
• 多角的な評価（干渉色）；