Inversion Fitting

Inversion fitting is the key step of adjustment. The speed and accuracy of the inversion fitting directly determine the efficiency and product quality.

Thickness of each layer is inverted according to the thin film stack and known spectrum by Solving equations with many strategies.

We can get the adjusted thickness through comparing simulated thickness with the standard thickness.

Through the step-by-step inversion fitting, you can adjust the actual thin film thickness to the standard thickness resulting in the desired spectrum, color And physical characteristics.

调片开始

标准膜系

设定软件参数

设定反演策略

标准光谱

达到要求？

调片结束

参数存档

当前光谱数据

设定反演目标

镀膜参数

镀膜

当前测试样片

测试光谱

反演

测试物理特性

当前膜系

膜系

• 独创的实时对比标准光谱、测试光谱和模拟光谱；
• 膜系数据依据每条生产线进行初始化；
• 膜系材料可以根据不同靶材等进行初始调整；
• 快速调片

灵活的优化目标

• 实现方便的数据导入、导出、转化、管理等；
• 操作简单；
• 支持多种在线和离线光谱测试仪器；

反演拟合

切合实际的反演策略

• 根据工艺参数给出调整方向和数值；
• 误差分析；

与膜系开发模块衔接

• 膜系结构相同，以便相互转换；
• 结合实际情况；
• 多角度评估(干扰色)；