反演擬合

反演擬合為調整中的關鍵步驟。反演擬合的速度與準確度直接決定了調整效率與產品品質。

根據已知薄膜堆疊結構與量測光譜，使用多種演算法求解各層厚度的反演問題。

透過比較模擬得到的厚度與標準厚度，可獲得調整建議值。

循序漸進的反演擬合流程可將實際薄膜厚度調整至標準厚度，以達到目標光譜、色彩與物性要求。

调片开始

标准膜系

设定软件参数

设定反演策略

标准光谱

达到要求？

调片结束

参数存档

当前光谱数据

设定反演目标

镀膜参数

镀膜

当前测试样片

测试光谱

反演

测试物理特性

当前膜系

膜系

• 独创的实时对比标准光谱、测试光谱和模拟光谱；
• 膜系数据依据每条生产线进行初始化；
• 膜系材料可以根据不同靶材等进行初始调整；
• 快速调片

灵活的优化目标

• 实现方便的数据导入、导出、转化、管理等；
• 操作简单；
• 支持多种在线和离线光谱测试仪器；

反演拟合

切合实际的反演策略

• 根据工艺参数给出调整方向和数值；
• 误差分析；

与膜系开发模块衔接

• 膜系结构相同，以便相互转换；
• 结合实际情况；
• 多角度评估(干涉色)；