靶位配置用于描述镀膜线中每个靶位的参数、寿命、保养周期等信息，是工艺数据库的重要组成部分。每个靶位都需要有独立的配置，便于后续的参数管理、寿命追踪和工艺优化。
主要内容
- 靶位参数：包括主参数、辅参 数、修正系数等，支持分组和归类管理。
- 保养周期：每个靶位可设置自然时长和使用时长的保养周期。
- 寿命限制：可设置靶位的寿命区间（如10%-90%），用于提醒更换或维护。
- 参数归类：参数可按类型（如速率系数、电学性能等）归类，便于展示和输入。
- 参数调整策略：支持手动、预测、对比、拟合函数、AI等多种参数调整方式。
典型字段
| 字段名 | 含义 | 示例/说明 |
|---|
| id | 靶位配置ID | "target_cfg_001" |
| name | 靶位名称 | "T1" |
| description | 描述 | "主镀膜靶位" |
| sequence_number | 镀膜线序号 | 1 |
| maintain_period_days | 保养周期（天） | 30 |
| maintain_period_hours | 保养周期（小时） | 200 |
| lifetime_min_percent | 最小寿命百分比 | 10 |
| lifetime_max_percent | 最大寿命百分比 | 90 |
| parameters | 参数列表 | 见下表 |
参数列表（ParameterModel 示例）
| 符号(symbol) | 含义(meaning) | 单位(unit) | 最小值 | 最大值 | 默认值 | 步长 |
|---|
| rate_factor | 速率系数 | nm/s | 0.1 | 10 | 1 | 0.01 |
| voltage | 靶电压 | V | 0 | 1000 | 500 | 1 |
| current | 靶电流 | A | 0 | 100 | 50 | 0.1 |
相关说明
- 每个靶位配置可关联多个参数，参数类型和数量可根据实际工艺需求扩展。
- 靶位配置与镀膜线配置、靶位运转记录等模块关联，便于全流程追溯和优化。
- 支持通过界面批量导入、导出和编辑靶位配置。