镀膜线运转配置 (Coating Line Running Configuration)
“镀膜线运转配置”是连接理论膜系设计与物理设备的关键桥梁。它定义了当前产品生产时,膜系设计中的每一层膜应当由哪些物理靶位来承担。
介绍
运转配置是工艺大师中最核心的数 据对象之一,主要包含:
- 关联膜系设计:指定当前生产所使用的产品膜系(设计文件)。
- 关联镀膜线布局:引用“镀膜线配置”确定的物理硬件基础。
- 运转层映射 (Running Layers):
- 逻辑连接:将设计中的每一层(Layer 1, Layer 2...)分配给一个或多个物理靶位组。
- 运转状态:记录各靶位在本次生产任务中的活跃状态。
- 全局拟合设置 (Global Fit Setting):保存本批次产品在执行自动调优时默认使用的算法权重和约束。
操作方法
- 进入 数据管理 → 镀膜线运转配置。
- 三项关键选择:
- 选择 所属镀膜线。
- 选择 物理布局(镀膜线配置)。
- 选择 产品设计(关联膜系)。
- 配置运转层(层-靶映射):
- 系统会自动列出膜系中的各层。
- 为每一层勾选负责生产该层的物理靶位。
- 即使是同一层膜,也可以由多个靶位协同生产(如多靶共蒸发)。
- 设置求解参数:在细节编辑中设定该配置全局默认的偏差权重。
- 加载使用:在工艺大师主界面右侧菜单,通过 运转配置 选择并激活。
注意事项
- 一一映射:确保设计中的所有关键层都有对应的运转靶位负责,否则厚度预测和调整功能将失效。
- 版本管理:同一个产品在不同生产阶段(如靶材半衰期)可能有不同的映射策略,建议分别保存为不同的运转配置名称(如“产品A-高效模式”、“产品A-稳定模式”)。
- 同步:当膜系设计发生结构性变动(增减层数)时,必须重新编辑对应的运转配置以匹配映射。