示例数据
工艺大师模块内置了一套完整的 Low-E 双银镀膜线 示例数据。安装或更新数据库后,您无需手动录入即可立即体验所有功能。
包含的内容
示例数据创建了一个完整的、可直接使用的演示环境:
| 组件 | 详 情 |
|---|---|
| 镀膜线 | "Demo Line A" — 模拟的 Low-E 双银磁控溅射线 |
| 膜系设计 | 12 层双银膜系结构 (N/K/C/A/C/N/K/N/C/A/C/N) |
| 靶位 | 12 个物理靶位,使用 10 种靶位配置 |
| 靶材 | Si、Zn:Al、NiCr、Ag 及对应气体配置 |
| 气体 | Ar(主气)、O₂ 和 N₂(辅助反应气体) |
| 走速 | 8 m/min |
| 测试位置 | 33 个横向测试位置 |
如何加载示例数据
示例数据在数据库 Migration 过程中自动注入:
- 进入 设置 → 数据库管理
- 点击 更新数据库 按钮
- Migration 系统会自动创建所有示例数据
- 打开 工艺大师 模块即可使用
层-靶映射
示例数据展示了膜系设计层与物理靶位之间的映射关系:
| 膜层 | 材料 | 靶位 | 功率 |
|---|---|---|---|
| 保护层 | SiNx | T1 | 45 kW |
| L1 籽晶层 | ZnAlO | T2 | 20 kW |
| L2 阻挡层 | NiCr | T3 | 12 kW |
| L3 第一银层 | Ag | T4 | 8 kW |
| L4 阻挡层 | NiCr | T5 | 12 kW |
| L5 中间介质 | SiNx | T6 | 50 kW |
| L6 中间介质 | ZnAlO | T7 | 25 kW |
| L7 隔离层 | SiNx | T8 | 45 kW |
| L8 阻挡层 | NiCr | T9 | 14 kW |
| L9 第二银层 | Ag | T10 | 10 kW |
| L10 保护层 | NiCr | T11 | 12 kW |
| L11 顶部保护 | SiNx | T12 | 45 kW |
靶位配置复用
靶位 T11 和 T12 分别复用了 T3(NiCr)和 T1(SiNx)的靶位配置,体现了 同一个靶位配置可以服务于多个物理靶位。
使用示例数据
加载后,您可以利用示例数据进行以下操作:
- 浏览运转面板 — 查看包含 12 个靶位的镀膜线布局
- 加载运转配置 — 选择 "Demo Double Silver Running Config" 查看层-靶映射关系
- 加载运行参数 — 选择 "Demo running at 8 m/min" 查看完整的参数快照
- 练习膜厚反演 — 导入测试光谱,反演计算各层膜厚
- 练习参数调整 — 使用调整面板模拟工艺参数优化
注意事项
- 所有示例数据的标识符均以
DEMO_为前缀,便于与生产数据区分。 - 示例数据不会覆盖已有数据。如果数据库中已存在相同标识符的记录,示例数据会被自动跳过。
- 示例数据关联了内置的 双银膜系设计模板。请确保该模板存在于材料数据库中(它在初次安装时自动创建)。