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版本:5.0 (最新)

示例数据

工艺大师模块内置了一套完整的 Low-E 双银镀膜线 示例数据。安装或更新数据库后,您无需手动录入即可立即体验所有功能。

包含的内容

示例数据创建了一个完整的、可直接使用的演示环境:

组件详情
镀膜线"Demo Line A" — 模拟的 Low-E 双银磁控溅射线
膜系设计12 层双银膜系结构 (N/K/C/A/C/N/K/N/C/A/C/N)
靶位12 个物理靶位,使用 10 种靶位配置
靶材Si、Zn:Al、NiCr、Ag 及对应气体配置
气体Ar(主气)、O₂ 和 N₂(辅助反应气体)
走速8 m/min
测试位置33 个横向测试位置

如何加载示例数据

示例数据在数据库 Migration 过程中自动注入:

  1. 进入 设置数据库管理
  2. 点击 更新数据库 按钮
  3. Migration 系统会自动创建所有示例数据
  4. 打开 工艺大师 模块即可使用

层-靶映射

示例数据展示了膜系设计层与物理靶位之间的映射关系:

膜层材料靶位功率
保护层SiNxT145 kW
L1 籽晶层ZnAlOT220 kW
L2 阻挡层NiCrT312 kW
L3 第一银层AgT48 kW
L4 阻挡层NiCrT512 kW
L5 中间介质SiNxT650 kW
L6 中间介质ZnAlOT725 kW
L7 隔离层SiNxT845 kW
L8 阻挡层NiCrT914 kW
L9 第二银层AgT1010 kW
L10 保护层NiCrT1112 kW
L11 顶部保护SiNxT1245 kW
靶位配置复用

靶位 T11 和 T12 分别复用了 T3(NiCr)和 T1(SiNx)的靶位配置,体现了同一个靶位配置可以服务于多个物理靶位。

使用示例数据

加载后,您可以利用示例数据进行以下操作:

  1. 浏览运转面板 — 查看包含 12 个靶位的镀膜线布局
  2. 加载运转配置 — 选择 "Demo Double Silver Running Config" 查看层-靶映射关系
  3. 加载运行参数 — 选择 "Demo running at 8 m/min" 查看完整的参数快照
  4. 练习膜厚反演 — 导入测试光谱,反演计算各层膜厚
  5. 练习参数调整 — 使用调整面板模拟工艺参数优化

注意事项

  • 所有示例数据的标识符均以 DEMO_ 为前缀,便于与生产数据区分。
  • 示例数据不会覆盖已有数据。如果数据库中已存在相同标识符的记录,示例数据会被自动跳过。
  • 示例数据关联了内置的 双银膜系设计模板。请确保该模板存在于材料数据库中(它在初次安装时自动创建)。