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版本：5.0 (最新)

靶位参数 (Coating Target Parameter)

“靶位参数”记录了单个物理靶位的实时运行指标。它与“运行参数”的区别在于，它更侧重于反映靶位内部的精细调节状态（如流量分配、磁钢位等）。

介绍​

靶位参数的主要控制维度包括：

  • 主参数 (Primary)：
    • 设定功率 / 电压 (Power/Voltage)：靶位的能量输出。
    • 运行状态：标识该靶位是否处于“激活 (Active)”状态。
  • 气氛控制 (Gas Control)：
    • 主气流量 (Main Gas)：进入该靶位的主溅射气（如 Ar）流量。
    • 辅助气流量 (Assist Gas)：进入辅气支路的流量，用于微调横向分布。
  • 机械控制 (Mechanical)：
    • 磁钢位置 (Magnet Position)：记录磁钢在 X/Y/Rotary 维度的坐标。
  • 寿命统计 (Life Statistics)：
    • 已用安培小时 (Ah) / 预计剩余寿命。系统在读取本项数据后会同步更新主面板的仪表盘。

操作方法​

  1. 实时调节：在主面板点击特定靶位组，进入“参数调整”面板。
  2. 手动覆盖：输入“调整后”数值，系统会暂存该靶位的新状态。
  3. 回写应用：点击“应用参数”，数值将通过 gRPC 发送到后端并传递给底层 PLC。
  4. 历史追溯：在“靶位运行记录”中可以查阅过往任意时刻的这些详细参数值。

注意事项​

  • 耦合关系：在反应溅射模型中，功率与辅助气压通常存在高度非线性耦合，调整其中一项可能会引起另一项的读数跳变。
  • 安全阈值：所有参数的输入都会经过“靶位配置”中定义的上下限检查。