靶材參數

本頁用於維護靶材相關的工藝參數。

參數內容

• 靶材對應速率/功率參數
• 參數上下限與建議值
• 參數生效範圍與條件

使用建議

建議以實測資料與歷史記錄校準靶材參數，並定期檢查偏移情況。