Process MasterDatabase靶材設定版本:Next本页总览靶材設定本頁用於設定靶材的基礎設定資訊。 設定內容 靶材名稱、型號與類型 材料關聯與可用狀態 與工藝流程的映射規則 建議 靶材設定應與實際設備與庫存管理保持一致,避免執行時使用錯誤靶材資料。