镀膜靶位运转记录
镀膜靶位运转记录是对单个靶位在某次运转中的详细数据归档，包含该靶位的参数、速率系数贡献及膜厚情况。
介绍
相较于整线运转记录，靶位运转记录聚焦于单个靶位的数据：
- 本次运转中该靶位的主参数值（功率、气体）
- 靶位的速率系数（Contribution Rate Factor）
- 按测试位置记录的膜厚贡献分布
- 靶材当时的寿命消耗状态
这些数据是进行跨批次性能对比和建立预测模型的关键输入。
操作方法
- 在主面板中，对某靶位点击 查看靶位参数 后可直接查看当次的靶位运转数据。
- 历史靶位运转记录可以在 数据管理 → 靶位运转记录 页面按时间或镀膜线筛选查看。
- 批量导出靶位记录可用于外部建模分析。
注意事项
- 靶位记录在保存运行参数时会随整线运转记录一并生成，无需单独触发。
- 靶材寿命数据请在靶材实际更换后及时修正，否则寿命估算将出现偏差。