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镀膜线配置 (Coating Line Configuration)

“镀膜线配置”是对具体物理生产线结构的数字化模拟。它定义了机器内部各个功能区(Section)与阴极靶位(Target)的物理对应关系

介绍

该配置是所有工艺逻辑的基石。它记录了镀膜线内部的硬件拓扑:

  • 物理靶位布局:记录每个阴极(Cathode)安装在哪个具体的 Section(位置编号)上。
  • 靶位属性:关联该靶位使用的电源模型、气体控制系统和磁钢机构。

核心字段说明:

  • 镀膜线关联:指向具体的物理产线(如 Line A, Line B)。
  • 靶位放置 (Target Placement):定义了物理靶位的列表。每个项包含:
    • 位置坐标 (Section Position):硬件上的物理索引。
    • 靶位配置 ID:链接到该位置具体的电源、气体、冷却等详细硬件配置。

操作方法

  1. 进入 数据管理 → 镀膜线配置
  2. 选择镀膜线:指定本配置所属的主设备。
  3. 编辑靶位放置
    • 点击“添加靶位”,输入其在机器上的物理位置编号。
    • 关联该位置实际安装的靶位组件(Target Configuration)。
  4. 验证布局:保存后回到运转面板,检查可视化的靶位顺序是否与车间实际情况一致。

注意事项

  • 稳定性:镀膜线配置属于“低频变动数据”,仅在机器硬件发生重大改动(如增减阴极、变动 Section)时才需修改。
  • 顺序一致性:配置中的靶位物理位置顺序必须与玻璃行进方向的实际顺序完全吻合,否则会直接导致工艺大师的玻璃移动模拟和层位推算错误。
  1. 点击 保存 完成。

提示: 靶位横向截面坐标(Section Position)是辅参绑定和膜厚均匀性分析的基础,请务必与硬件实际位置保持一致。

  • 镀膜线配置一般由系统管理员录入,普通操作员只读查看即可。
  • 修改靶位坐标会影响所有关联该镀膜线的历史记录显示,操作前请做好备份。