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版本:5.0 (最新)

介绍

采用光度法拟合材料的折射率,需要测试透过率、反射率、膜厚中的一种或者多种,在测试数据准确度一样的情况下,数据类型越多,拟合结果的可信度就越高。

可以是基板或者膜层材料,一般拟合膜层材料折射率时,需要已知基板材料折射率(可以先拟合)。

多角度光度数据对折射率拟合结果的收敛有帮助。

适用范围

  1. 基板材料的折射率拟合
  2. 透明(弱吸收)膜层材料的折射率拟合,采用包络法。
  3. 模型材料的折射率拟合,采用参数化模型(如 Cauchy、Sellmeier 等)进行拟合。

拟合模式选择建议

单层膜模式

适用于材质稳定、吸收较弱的膜层(如 SiO2、TiO2、Al2O3 等)。

  • 需已知基板折射率;若未知,建议先执行“基板折射率拟合”。

带保护层单层膜模式

适用于受环境影响更明显的材料(如 Ag、Al、Cu 等金属或合金膜)。

选择保护层时建议优先满足:

  • 材质稳定,折射率可复用
  • 镀膜速率稳定,工艺可重复
  • 透过率高,便于测量
  • 已有可靠折射率数据

并且需要:

  • 已知基板折射率
  • 已知保护层折射率(未知时可先做单层膜拟合)

打开折射率拟合模块

折射率拟合模块可以通过以下任意一种方式进行访问:

  1. 通过主菜单: 主菜单 > 膜系 > 折射率拟合
  2. 通过主页: 主页 > 折射率拟合

折射率拟合配置

折射率拟合配置中保存了如下信息:

config-options

从数据库读取拟合配置到当前模块

操作步骤:

  • 点击弹出按钮或者靠近右边框弹出的按钮,弹出右边菜单
  • 点击折射率拟合配置菜单项的下载折射率拟合配置按钮,弹出折射率拟合配置数据库
  • 根据数据库操作方式,选择单个的配置,点击确定按钮,将配置信息读取到当前模块

将当前模块的拟合配置保存到数据库

用户可以将修改之后的配置信息保存到数据库中,以便下次使用。

可以选择保存到新的也可以修改当前的配置信息。

操作步骤:

  • 点击弹出菜单按钮或者靠近右边框弹出的按钮,弹出右边菜单
  • 点击折射率拟合配置菜单项的上传折射率拟合配置按钮,弹出折射率拟合配置数据库
  • 可以选择保存到新的也可以修改当前的配置信息
  • 点击右下角的关闭按钮,关闭折射率拟合配置数据库,回到当前模块

CoatFlex 计算引擎

参见: 功能模块内的CoatFlex控制

浮动窗口

参见: 浮动窗口

光谱

参见:

折射率

参见: 折射率

拟合

参见: 拟合