紹介

光度法で材料の屈折率をフィッティングするには、透過率・反射率・膜厚のうち 1 種類以上の測定データが必要です。測定精度が同等であれば、データ種類が多いほどフィッティング結果の信頼性が高まります。

対象は基板材料または膜層材料です。一般に膜層材料の屈折率をフィッティングする場合、基板材料の屈折率が既知であることが望まれます（必要に応じて先に基板をフィッティング可能）。

多角度の光度データは、屈折率フィッティングの収束性向上に有効です。

適用範囲

下図のとおり、本モジュールは単層膜材料の屈折率フィッティングに適用されます。基板または透明厚膜（k が 0 に近い材料）の場合は、Filmstar の Index モジュールを使用してください。詳細は Filmstar の説明資料を参照してください。

フィッティングフロー

以下は屈折率フィッティングの参考フローです。