基本操作
膜系開発設定
膜系開発モジュールの常用設定を保存します。主な項目:
- スペクトル計算設定
- スペクトルカーブ設定
- スペクトル読込コンテナ設定
- スペクトル読込ショートカット
- カラーテーブル設定
- スペクトル目標
- 色目標
- 最適化オプション
これらはデータベースに保存でき、製品種別や運用習慣に応じて再利用できます。
膜系
膜系は、材料設定、前膜系、後膜系、基板厚で構成されます。
データベースから膜系を読込
- 右側メニューを開く
膜系のダウンロードをクリック- 膜系を選択して
確定
現在膜系構造をデータベースへ保存
- 右側メニューを開く
膜系のアップロードをクリック- 新規保存または既存更新を選択
閉じるで戻る
膜系構造テーブル
- 選択(最左列):行操作対象の選択
- 番号:基板側からの成膜順番号
- 膜厚:膜厚(nm)。最適化・シミュレーションで更新対象
- 記号:材料記号(S を除く大文字)
- 材料:材料データベースの材料
- 制限/下限/上限:最適化時の膜厚境界
- 選択(最右列):最適化対象、手動調整対象、自動シミュレーション対象
材料設定
材料設定は、膜層記号と材料の対応関係です。変更により膜系テーブルの材料を一括調整できます。