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基础操作

反演拟合配置​

保存了反演拟合模块的常用配置，包括：

  • 光谱计算配置
  • 光谱曲线配置
  • 导入光谱容器配置
  • 导入光谱的快捷方式
  • 光谱到光谱目标的转换规则
  • 颜色表格配置
  • 光谱目标
  • 颜色目标
  • 优化选项

用户可以将这些常用的配置保存到数据库中，下次使用的时候直接加载即可。

用户可以根据不同产品类别、不同使用习惯个性化设置这些配置。

从数据库读取配置到当前模块​

操作步骤:

  • 点击弹出按钮或者靠近右边框弹出的按钮，弹出右边菜单
  • 点击反演拟合配置菜单项的下载反演拟合配置按钮，弹出反演拟合配置数据库
  • 根据数据库操作方式，选择单个的配置，点击确定按钮，将配置信息读取到当前模块

将当前模块的配置信息保存到数据库​

用户可以将修改之后的配置信息保存到数据库中，以便下次使用。

可以选择保存到新的也可以修改当前的配置信息。

操作步骤:

  • 点击弹出菜单按钮或者靠近右边框弹出的按钮，弹出右边菜单
  • 点击反演拟合配置菜单项的上传反演拟合配置按钮，弹出反演拟合配置数据库
  • 可以选择保存到新的也可以修改当前的配置信息
  • 点击右下角的关闭按钮，关闭反演拟合配置数据库，回到当前模块

膜系​

膜系包括材料配置、前膜系结构、后膜系结构和基板厚度。

由于是反演拟合，所以基板是固定和确定的，大多数情况下，只有前膜系结构，而且前膜系结构的顺序、材料是固定的，只有膜厚是变化的。

从数据库读取膜系到当前模块​

操作步骤:

  • 点击弹出按钮或者靠近右边框弹出的按钮，弹出右边菜单
  • 点击膜系菜单项的下载膜系按钮，弹出膜系数据库
  • 根据数据库操作方式，选择单个的膜系，点击确定按钮，将膜系读取到当前模块

将当前膜系结构保存到数据库​

用户可以将修改之后的膜系结构保存到数据库中，以便下次使用。

操作步骤:

  • 点击弹出菜单按钮或者靠近右边框弹出的按钮，弹出右边菜单
  • 点击膜系菜单项的上传膜系按钮，弹出膜系数据库
  • 可以选择保存到新的也可以修改当前的膜系信息
  • 点击右下角的关闭按钮，关闭膜系数据库，回到当前模块

材料配置​

材料配置是膜层符号对应的材料的关系。通过更改材料配置，可以更改膜系结构表格中的材料。也可以用于模拟钢化前后的性能变化情况。

膜系结构表格​

膜系结构表格上方的撤销按钮是撤销所有的膜厚修改，将模拟膜厚恢复为标准膜厚。

序号：膜层的序号，按照镀膜顺序，从基板开始的膜层为1开始编号。

标准(膜厚)：膜层的厚度，单位是nm。指的是定标的膜厚，也就是说，这个厚度是做出一个合格理想产品的标准厚度。

模拟(膜厚)：膜层的厚度，单位是nm。指的是根据当前测试光谱模拟出的膜厚，也就是说，这个厚度是能够做出当前测试光谱的理论膜层厚度。

符号：材料的符号，26个字母(字母"S"已经被基板占用)之一，都是大写，用户无法修改。

材料：指分配的镀膜材料数据库中的数据。用户可以通过更改材料配置来更改膜层对应的材料。

选择(最右侧)：膜层的选择，有两个意义，第一个是选择这一层作为优化的对象，第二个是选择这一层作为手工调整、自动模拟的对象。

用于反演的工艺运行配置​

保存了适用的镀膜线和膜系。

保存了整体的的函数值、变量和拟合关系。

保存了每个膜层的函数值、变量和拟合关系。

从数据库读取工艺运行配置到当前模块​

操作步骤:

  • 点击弹出按钮或者靠近右边框弹出的按钮，弹出右边菜单
  • 点击"用于反演的工艺运行配置"菜单项的下载按钮，弹出"用于反演的工艺运行配置"数据库
  • 根据数据库操作方式，选择单个的配置，点击确定按钮，将配置读取到当前模块

将当前工艺运行配置保存到数据库​

用户可以将修改之后的工艺运行配置保存到数据库中，以便下次使用。

操作步骤:

  • 点击弹出菜单按钮或者靠近右边框弹出的按钮，弹出右边菜单
  • 点击"用于反演的工艺运行配置"菜单项的上传按钮，弹出"用于反演的工艺运行配置"数据库
  • 可以选择保存到新的也可以修改当前的
  • 点击右下角的关闭按钮，关闭膜系数据库，回到当前模块

Filmstar​

反演拟合模块使用Filmstar作为计算和优化引擎。

优化膜系​

优化是指通过改变膜厚让光谱曲线和目标尽可能接近的过程。

优化过程是一个持续改进和反复的过程，需要用户进行多次尝试。

用户可以通过观察优化函数、光谱曲线、颜色数值的变化来观察优化状态，需要时可以停止，修改参数(可以是目标或者膜层结构)进行再次优化，直到得到较为满意的结果。

优化选项​

停止模式​

默认的优化次数是很大的，一般不需要等待到自动结束，所以需要设置停止模式。

  • 优化函数：优化函数的值小于设定的数值就会停止优化。
  • 优化次数：优化次数达到设定的数值就会停止优化。

更新结果​

更新结果是指把优化后的膜厚更新到当前主界面的膜系结构表格中。

如果勾选计算光谱，则会根据优化后的膜系结构进行计算(根据一般计算设置)，然后把优化后的光谱曲线更新到当前主界面的光谱曲线区域中。

  • 不更新：不更新膜系结构表格中的膜厚。
  • 有改善的：只更新优化后的膜厚比优化前的膜厚有改善的结果才会更新和计算。
  • 全部：更新所有优化结果。

记录结果​

记录结果是指将此次优化作为一条记录保存到膜系开发的历史中，以便能够随时找到。

  • 不记录：不记录任何一条优化结果，后续也无法获取。
  • 全部：记录所有优化结果。
  • 有改善的：只更新优化后的膜厚比优化前的膜厚有改善的结果才会记录。

算法​

目前仅支持Filmstar的优化算法。

浮动窗口​

参见:

浮动窗口

用户配置​

用户配置是和每个用户相关的配置，所有模块都是一样的。包括:

  • 膜系结构表格
  • 手工调整设置
  • 自动模拟设置
  • 历史

用户配置保存用户配置数据库中，可以通过右侧弹出菜单的用户配置的下载按钮，从用户配置数据库中加载一个用户配置到当前模块。

也可以将当前模块中经过改变的用户配置保存(上传)到用户配置数据库中。注意保存的时候，会覆盖改变所有使用到这个用户配置的模块。

工艺模拟​

工艺模拟是模拟膜层结构的工艺实现，它可以帮助我们预测工艺参数和优化工艺参数，提升调片效率。

工艺模拟的基本思想是将工艺过程分解为一系列的物理关联过程，然后通过数学模型来描述这些物理过程。

由于是单个膜系的模拟，只能模拟主参，不考虑横向均匀性。

工艺模拟的基本功能包括:

  • 计算: 从变量和拟合关系计算出函数值
  • 优化: 从函数值的目标值和拟合关系计算出变量

工艺模拟配置​

函数值​

函数值可以是一个性能指标，比如膜厚，耐摩擦性、耐酸碱性、腔体压强等等，也可以是中间变量，比如速率系数。

函数值是一种观察值或者说可测量值，函数值是不可以直接通过输入改变的，只能通过调整变量来改变函数值。

变量​

变量是可供改变的参数，是一种输入值，比如玻璃移动速度、设定的功率、电流、抽速、气体流量等，就是用户可以通过改变这些值来改变函数值，这样就达到调试的目的。

变量的输入和输出认为是一样的，这里忽略(简化)了设定值和观测值的差异，否则需要一种维修手段去纠正偏差。

拟合关系​

拟合关系是函数值和变量之间的关系，比如膜厚和功率之间的关系，膜厚和气体流量之间的关系等等。

请注意:

  • 一个函数值只能作为一个拟合模型的函数值，否则就会出现被改变多次的情况，而且只有一个组内(全局或者每个膜层都被认为是一个组)的拟合模型才能使用这个函数值作为函数值
  • 函数值可以作为拟合关系的变量

全局​

建立整个膜系关联的函数值、变量和拟合关系。

比如玻璃移动速度是整个膜系工艺运行的变量，这个变量的设定会影响所有的工艺步骤。

每个膜层​

建立每个膜层关联的函数值、变量和拟合关系。

比如膜厚和速率系数是每个膜层的函数值，功率或者电流是每个膜层的变量。

计算函数值​

计算是用绑定的拟合关系和变量计算出函数值。

计算时，可以选择调整前和调整后两种模式进行计算。

会对选中的每一个函数值进行计算。

求解(优化)参数​

求解是用绑定的拟合关系和函数值的目标值求解出变量的设定值。

求解时，只对调整后进行求解。

会对选中的每一个函数值进行求解。