基本操作
反演フィッティング設定
本設定には以下の常用項目が含まれます。
- スペクトル計算設定
- スペクトルカーブ設定
- スペクトル読込コンテナ設定
- スペクトル読込ショートカット
- スペクトル→スペクトル目標変換ルール
- カラーテーブル設定
- スペクトル目標
- 色目標
- 最適化オプション
これらの設定はデータベースに保存でき、次回は直接読込できます。
データベースから現在モジュールへ設定を読込
- 右側メニューを開きます。
反演フィッティング設定のダウンロードをクリックします。- 設定を選択して
確定をクリックし、現在モジュールへ読込みます。
現在モジュール設定をデータベースへ保存
- 右側メニューを開きます。
反演フィッティング設定のアップロー ドをクリックします。- 新規保存または既存更新を選択します。
- 右下の
閉じるでデータベース画面を閉じます。
膜系
膜系は、材料設定、前膜系、後膜系、基板厚で構成されます。
反演フィッティングでは基板は通常固定で、前膜系構造の順序・材料は固定、膜厚のみが変動するケースが多数です。
データベースから膜系を読込
- 右側メニューを開きます。
膜系のダウンロードをクリックします。- 膜系を選択して
確定し、現在モジュールへ読込みます。
現在膜系構造をデータベースへ保存
- 右側メニューを開きます。
膜系のアップロードをクリックします。- 新規保存または既存更新を選択します。
- 右下の
閉じるでデータベース画面を閉じます。
材料設定
材料設定は、膜層記号と材料の対応関係です。材料設定の変更により膜系テーブル上の材料を切り替えられます。熱処理前後の特性差シミュレーションにも利用できます。
膜系構造テーブル
テーブル上部の 取り消し は、膜厚変更を取り消して標準膜厚へ戻します。
- 番号：成膜順に基板側を 1 として採番
- 標準膜厚：定標時の理想膜厚（nm）
- シミュレーション膜厚：現在スペクトルを再現する理論膜厚（nm）
- 記号：材料記号（基板記号 S を除く大文字）
- 材料：材料データベースに紐づく材料
- 選択（最右列）：最適化対象、および手動/自動調整対象を指定
反演用工程運転設定
適用ライン、膜系、関数値、変数、フィッティング関係を保持します（全体/層別）。
読込
反演用工程運転設定 の ダウンロード から設定データベースを開き、選択後 確定 で読込みます。
保存
反演用工程運転設定 の アップロード から保存します（新規または更新）。
Filmstar
反演フィッティングでは Filmstar を計算・最適化エンジンとして使用します。
膜系最適化
最適化は、膜厚を調整してスペクトルカーブを目標へ近づける反復プロセスです。
最適化オプション
停止モード
目的関数：しきい値未満で停止最適化回数：指定回数到達で停止
結果更新
最適化結果を膜系テーブルへ反映します。スペクトル計算 を有効化すると、更新後構造で再計算し、表示カーブへ反映します。
更新しない改善ありのみすべて
結果記録
最適化結果を履歴へ保存します。
記録しないすべて改善ありのみ
アルゴリズム
現在は Filmstar の最適化アルゴリズムに対応しています。
フローティングウィンドウ
参照：フローティングウィンドウ
ユーザー設定
ユーザー設定は全モジュール共通で、膜系構造テーブル、手動調整設定、自動シミュレーション設定、履歴を含みます。
右側ポップアップメニュー の ユーザー設定 から ダウンロード で読込 み、アップロード で保存できます。
工程シミュレーション
工程シミュレーションは膜構造の工程実現をモデル化し、工程パラメータの予測・最適化により調整効率を向上させます。
単一膜系シミュレーションでは主パラメータのみ扱い、横方向均一性は対象外です。
基本機能：
- 計算：変数とフィッティング関係から関数値を計算
- 求解（最適化）：関数値目標とフィッティング関係から変数設定値を求解