介绍

采用光度法拟合材料的折射率，需要测试透过率、反射率、膜厚中的一种或者多种，在测试数据准确度一样的情况下，数据类型越多，拟合结果的可信度就越高。

可以是基板或者膜层材料，一般拟合膜层材料折射率时，需要已知基板材料折射率(可以先拟合)。

多角度光度数据对折射率拟合结果的收敛有帮助。

适用范围

如下图所示，本拟合模块适用于膜层材料的折射率拟合。

如果用于基板或者透明厚层(k接近于0)的材料，请采用Filmstar的Index模块进行拟合，具体方法参见Filmstar的说明文档。

为了与工艺和产品特性结合，本模块可以通过设定合理的膜层结构组合，设定某些层作为已知材料，来拟合出未知膜层的折射率。尽管如此，仍然建议在条件允许的情况下，让结构简单化，从而节约时间和增加结果准确性。

拟合流程

如下是折射率拟合的参考流程：