靶位配置
靶位配置用于定义物理段位靶位所绑定的资源。
常见绑定项
- 阴极配置。
- 靶材配置。
- 主气配置。
- 辅气配置。
- 磁钢配置。
- 电源模块。
操作步骤
- Open Coating Line -> Database -> Target Configuration.
- 新建一条靶位配置记录。
- 绑定必需资源 ID。
- 按设备要求设置几何或工艺字段。
- 保存并快速检查，确保无空绑定项。
最佳实践
- 同一条线体使用统一编号规范。
- 备注字段保持简洁、便于操作员理解。
- 条件允许时优先复用稳定靶位配置。
常见错误
- 必需资源缺失。
- 先补齐缺失的气体/电源/磁钢对象。
- 资源类型选错。
- 确认所选对象与段位硬件类型一致。