靶位配置
靶位配置用於定義實體段位靶位所綁定的資源。
常見綁定項
- 陰極配置。
- 靶材配置。
- 主氣配置。
- 輔氣配置。
- 磁鋼配置。
- 電源模組。
操作步驟
- 開啟 Coating Line -> Database -> Target Configuration。
- 新建一筆靶位配置記錄。
- 綁定必需資源 ID。
- 依設備要求設定幾何或工藝欄位。
- 儲存並快速檢查，確保無空綁定項。
最佳實務
- 同一線體使用統一編號規範。
- 備註欄位保持精簡，便於操作員理解。
- 條件允許時優先重用穩定靶位配置。
常見錯誤
- 必需資源缺失。
- 先補齊缺失的氣體/電源/磁鋼物件。
- 資源類型選錯。
- 確認所選物件與段位硬體類型一致。