自動シミュレーション
自動シミュレーション に対応するモジュール(膜系開発、反演フィッティング)では、右側操作バーの 自動シミュレーション ボタンで本ウィンドウを開けます。
画面

スペクトル計算と計算条件
計算時に使用する条件は、計算スペクトル 設定で 自動シミュレーション が有効な計算条件です。

膜厚
選択中膜層の膜厚を自動的に変化させ、スペクトルと色を計算します。
膜厚変化範囲は、膜系自体の膜厚制限に従います。
注意:膜厚変更時の計算角度は、計算スペクトル設定 の 自動シミュレーション に対応する角度です。別角度を試す場合は同設定で変更してください。
加法
各反復で固 定値だけ膜厚を増減します(正値=増加、負値=減少)。
- 係数:1 回あたりの膜厚変化量
- 反復回数:何回シミュレーションするか
乗法
各反復で固定割合だけ膜厚を増減します(正値=増加、負値=減少)。
- 係数:1 回あたりの変化率(%)
- 反復回数:何回シミュレーションするか
注:変化率は初期膜厚基準です。例:初期膜厚 100nm、係数 5 の場合、各反復の変化量は常に 5nm です。
角度
角度を変化させ、スペクトルと色の変化を確認します。

角度変更時の計算基準は現在膜厚です。
- 開始角度:開始値
- 終了角度:終了値
- ステップ:角度刻み
例:5°~10°、ステップ 1° の場合、5°から 1°ずつ増加して 10°で終了します。
- 角度リスト:指定リストに基づいて自動シミュレーション