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Version: 5.0 (最新)

自動シミュレーション

自動シミュレーション に対応するモジュール(膜系開発反演フィッティング)では、右側操作バーの 自動シミュレーション ボタンで本ウィンドウを開けます。

画面

auto-simulate

スペクトル計算と計算条件

計算時に使用する条件は、計算スペクトル 設定で 自動シミュレーション が有効な計算条件です。

calculate

膜厚

選択中膜層の膜厚を自動的に変化させ、スペクトルと色を計算します。

膜厚変化範囲は、膜系自体の膜厚制限に従います。

注意:膜厚変更時の計算角度は、計算スペクトル設定自動シミュレーション に対応する角度です。別角度を試す場合は同設定で変更してください。

加法

各反復で固定値だけ膜厚を増減します(正値=増加、負値=減少)。

  • 係数:1 回あたりの膜厚変化量
  • 反復回数:何回シミュレーションするか

乗法

各反復で固定割合だけ膜厚を増減します(正値=増加、負値=減少)。

  • 係数:1 回あたりの変化率(%)
  • 反復回数:何回シミュレーションするか

注:変化率は初期膜厚基準です。例:初期膜厚 100nm、係数 5 の場合、各反復の変化量は常に 5nm です。

角度

角度を変化させ、スペクトルと色の変化を確認します。

calculate

角度変更時の計算基準は現在膜厚です。

  • 開始角度:開始値
  • 終了角度:終了値
  • ステップ:角度刻み

例:5°~10°、ステップ 1° の場合、5°から 1°ずつ増加して 10°で終了します。

  • 角度リスト:指定リストに基づいて自動シミュレーション