參考手冊 (Reference):擬合參數與演算法對照表
在執行膜系折射率擬合時,會涉及大量計算約束條件與演算法參數。本手冊提供各參數選項的對照定義,供進階使用者在複雜調試時快速查閱。
1. 膜厚約束 (Thickness Constraints)
決定折射率擬合演算法在搜尋最佳物理膜厚時的搜尋空間。
| 參數名稱 | 類型 | 說明 | 配置建議 |
|---|---|---|---|
| 起始厚度 (Start) | 數值 (nm) | 演算法猜測的膜厚下邊界。 | 建議設在實測值約 -20nm,避免漏掉局部最優。 |
| 終止厚度 (End) | 數值 (nm) | 演算法猜測的膜厚上邊界。 | 建議設在實測值約 +20nm。 |
| 厚度間隔 (Step) | 數值 (nm) | 掃描膜厚上下界時的步進粒度。 | 1nm 可覆蓋多數情境;若需快速粗算可設為 5-10nm。 |