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Version: 5.0 (最新)

工艺调整记录

工艺调整记录用于保存每次参数调整求解的前后快照,支持追溯和复盘。

记录内容

  • 调整前参数集(Before)
  • 调整后参数集(After)
  • 触发用户、主机信息和时间戳
  • 关联运行参数/反演上下文(如存在)

操作方法

  1. 参数调整与求解 页面完成一次求解并应用结果。
  2. 系统自动写入工艺调整记录。
  3. 进入 数据管理 -> 工艺调整记录 查询历史结果。
  4. 选中记录后查看前后参数对比,用于经验沉淀。

注意事项

  • 该记录用于审计和分析,通常不建议人工修改。
  • 建议在关键产线切换前后保留调整记录,便于回溯。
  • 发现异常波动时,可结合运行记录与反演记录做联合排查。